技術說明

高精度校準用平面鏡，採用非接觸式奈米加工修整技術(包括大氣電漿面形修整技術與離子束面形修整技術)精密加工而成，達到 1/20 λ的面型精度及小於 1/100 λ 的RMS表面粗糙度。

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