先進製造與封測設備
Advanced Manufacturing & Packaging Equipment
雙折射量測系統
技術特色
雙折射量測系統是利用偏光架構及相位移技術重建透明基板或元件內部相位延遲量。
技術說明
雙折射量測模組是利用偏光架構及相位移技術重建透明基板或元件內部相位延遲量以及雙折射光軸角度分布。顯微雙折射量測模組可應用於雷射加工璃基板應力監控，可將加工後之玻璃基板產生的殘留應力可視化，進而優化加工參數，避免裂痕生成。大範圍雙折射量測模組可應用於塑膠鏡片殘留應力監控，使鏡片於有效半徑內相位延遲量保持低雙折射效應，確保成像的清晰度及準確性。
技術聯絡人
姓名：張柏毅
電話：03-5732238
信箱：poychang@itri.org.tw
