技術特色

陣列化視野高精度同時掃描，效率提升4-10倍，解決高精度檢測(如:半導體)產能瓶頸

技術說明

市售白光干涉系統雖為10μm以下元件檢測的主流方案，但受限於單鏡頭小視野架構，檢測速度難以滿足量產需求，成為高精度製程導入瓶頸。為突破此限制，本技術首創MEMS微型陣列式白光干涉鏡組，導入平行陣列化概念，應用於半導體、先進封裝與μLED等領域，實現多通道同步掃描，效率提升4至10倍，並維持媲美單鏡頭的奈米級精度。
搭配AI自適應訊號解析演算法，有效補償通道間雜訊與訊號變異問題；並透過偏軸光學槓桿設計與即時對焦控制，精準調控鏡頭共面度至1.29μm，實現多鏡頭同動掃描；並達到奈米級檢測精度(<10nm)與提升4倍視野(1.2mm × 1.2mm)同步大視野量測。整體系統突破視野與精度難以兼得的限制，為次世代奈米級快速檢測提供關鍵解方。

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