先進製造與封測設備

Advanced Manufacturing & Packaging Equipment

先進製造與封測設備 多層鍍膜元件全切製程技術

多層鍍膜元件全切製程技術

技術特色

應用超快雷射加工技術,以非接觸的方式取代傳統機械輪刀切割,實現局部加熱及材料去除,避免鍍膜玻璃表面開裂及崩角。

技術說明

具有多層鍍膜之半導體元件,過去以鑽石刀切割,會遭受切割液污染及膜層邊緣崩裂問題。本技術以超快雷射製程處理,切割邊緣乾淨,且無污染,並且成功解決傳統切割機械刀片因接觸式產生高應力,引起鍍膜層脫落或玻璃邊緣破損。透過超快雷射切割技術,顯著提升邊緣光滑度與減少加工缺陷。

技術照片

技術聯絡人

姓名:劉泰翔 / 陳智禮
電話:06-6939147 / 06-6939154
信箱:TitanLiu@itri.org.tw / chilichen@itri.org.tw