技術特色

「高靈敏感測晶片製程平台技術 」展示四項代表性模組成果：高精度OCS MEMS微鏡、精準震動感測器、工業/醫療用流量感測器、以及適用於位置/運動感知的磁力感測器。利用次微米製程與異質整合技術，展現我國在高靈敏感測領域的研發與量產能力。

技術說明

「高靈敏感測晶片製程平台技術」展現國內在感測晶片領域的核心製程能力，透過次微米級製程技術與異質整合平台，成功開發四項具代表性的高靈敏度感測模組成果。包含：可應用於光學通訊與掃描定位的高精度OCS MEMS微鏡，具備微小尺寸與高驅動精度；針對結構監測或設備診斷應用設計的高解析震動感測器，實現微弱震動訊號的穩定擷取；可用於工業氣體控制監控的高靈敏流量感測器，兼具低功耗與高可靠度；以及支援位置與動作追蹤應用的磁力感測器，具備高訊雜比與低漂移特性。整合多項異質材料與微結構設計，並導入晶圓級封裝、真空腔體與精密製程控制技術，有效克服感測訊號微弱、元件尺寸受限與多功能整合等挑戰，展現我國在高靈敏感測元件從設計、試製到量產的完整研發能量，為關鍵感測技術自主化奠定基礎。

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